এই আল্ট্রাভায়োলেট ওয়েভফ্রন্ট বিশ্লেষক, 512×512 পিক্সেলের (262,144 ফেজ পয়েন্ট) রেজোলিউশন নিয়ে গর্ব করে, পিছনের ফোকাল প্লেনে হস্তক্ষেপ পরিমাপ করতে সক্ষম। প্রযুক্তির জন্য আলোর উত্স থেকে একটি নিম্ন সমন্বয় স্তর প্রয়োজন এবং ফেজ স্থানান্তরের প্রয়োজনীয়তা দূর করে। অতিবেগুনী ইমেজিং সিস্টেমের সাহায্যে ডিভাইসটি রিয়েল-টাইম ওয়েভফ্রন্ট পরিমাপ অর্জন করতে পারে। এটি কম্পন বিচ্ছিন্নতা সুবিধার প্রয়োজন ছাড়াই ন্যানোমিটার-স্তরের পরিমাপের নির্ভুলতা সক্ষম করে, ব্যতিক্রমী কম্পন প্রতিরোধের এবং স্থিতিশীলতা বৈশিষ্ট্যযুক্ত।
পণ্যের নাম |
আল্ট্রাভায়োলেট ওয়েভফ্রন্ট অ্যানালাইজার |
তরঙ্গদৈর্ঘ্য পরিসীমা |
200nm~450nm |
লক্ষ্য আকার |
13.3 মিমি × 13.3 মিমি |
স্থানিক রেজোলিউশন |
26μm |
স্যাম্পলিং রেজোলিউশন |
512×512 (262144 পিক্সেল) |
ফেজ রেজল্যুশন |
2nmRMS |
পরম নির্ভুলতা |
10nmRMS |
গতিশীল পরিসীমা |
90μm (256 মিনিট) |
স্যাম্পলিং হার |
32fps |
রিয়েল-টাইম প্রক্রিয়াকরণ গতি |
10Hz (সম্পূর্ণ রেজোলিউশন) |
ইন্টারফেসের ধরন |
USB3.0 |
মাত্রা |
70 মিমি × 46.5 মিমি × 68.5 মিমি |
ওজন |
প্রায় 240 গ্রাম |
◆2nm RMS উচ্চ ফেজ রেজোলিউশন
◆UV স্পেকট্রাম 200nm~450nm ব্যান্ড
512×512 (262144) ফেজ পয়েন্টের আল্ট্রা-হাই রেজোলিউশন
◆ একক-চ্যানেল আলো স্ব-হস্তক্ষেপ, কোন রেফারেন্স আলো প্রয়োজন
◆অত্যন্ত শক্তিশালী অ্যান্টি-ভাইব্রেশন পারফরম্যান্স, অপটিক্যাল ভাইব্রেশন আইসোলেশনের প্রয়োজন নেই
◆ ঠিক ইমেজিং মত, সহজ এবং দ্রুত অপটিক্যাল পাথ নির্মাণ
◆ collimated beams এবং উচ্চ NA নন-collimated beams সমর্থন করে
এই BOJIONG আল্ট্রাভায়োলেট ওয়েভফ্রন্ট বিশ্লেষকটি অপটিক্যাল সিস্টেম বিভ্রান্তি পরিমাপ, অপটিক্যাল সিস্টেম ক্রমাঙ্কন, সমতল (ওয়েফার) পৃষ্ঠের আকৃতি পরিমাপ, অপটিক্যাল গোলাকার পৃষ্ঠের আকৃতি পরিমাপ ইত্যাদির জন্য ব্যবহৃত হয়।
লেজার বিম ওয়েভফ্রন্ট সনাক্তকরণ |
অভিযোজিত অপটিক্স Zernike মোডের ওয়েভফ্রন্ট সনাক্তকরণ প্রতিক্রিয়া |
অপটিক্যাল সিস্টেমের বিপর্যয় পরিমাপের উদাহরণ |
অপটিক্যাল সিস্টেম ক্রমাঙ্কন পরিমাপের উদাহরণ |
ওয়েফার পৃষ্ঠের রুক্ষতা পরিমাপের উদাহরণ |
মাইক্রো এচিং মরফোলজি পরিমাপ - ত্রুটি নমুনা 1 # -114 লাইন |
ঝেজিয়াং ইউনিভার্সিটি এবং সিঙ্গাপুরের নানয়াং টেকনোলজিক্যাল ইউনিভার্সিটির অধ্যাপকদের একটি দল দ্বারা তৈরি BOJIONG আল্ট্রাভায়োলেট ওয়েভফ্রন্ট বিশ্লেষক, গার্হস্থ্য পেটেন্ট প্রযুক্তি সহ, এটি উচ্চতর সনাক্তকরণ সংবেদনশীলতা এবং অ্যান্টি-ভাইব্রেটিভিটি কর্মক্ষমতা সহ একটি সাধারণ চার-তরঙ্গ ট্রান্সভার্স শিয়ার হস্তক্ষেপ অর্জনের জন্য ডিফ্র্যাকশন এবং হস্তক্ষেপকে একত্রিত করে। , এবং রিয়েল-টাইম এবং উচ্চ-গতি উপলব্ধি করতে পারে কম্পন বিচ্ছিন্নতা ছাড়া গতিশীল ইন্টারফেরোমেট্রি। রিয়েল-টাইম পরিমাপ 10 টিরও বেশি ফ্রেমের ফ্রেম রেট দেখায়। একই সময়ে, FIS4 সেন্সরের একটি অতি-উচ্চ ফেজ রেজোলিউশন রয়েছে 512×512 (260,000 ফেজ পয়েন্ট), পরিমাপ ব্যান্ডটি 200nm~15μm কভার করে, পরিমাপের সংবেদনশীলতা 2nm-এ পৌঁছে এবং পরিমাপের পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা 1/1000λ (এর চেয়ে ভাল) আরএমএস)। এটি লেজার বিমের গুণমান বিশ্লেষণ, প্লাজমা প্রবাহ ক্ষেত্র সনাক্তকরণ, উচ্চ-গতির প্রবাহ ক্ষেত্র বিতরণের রিয়েল-টাইম পরিমাপ, অপটিক্যাল সিস্টেমের চিত্রের গুণমান মূল্যায়ন, মাইক্রোস্কোপিক প্রোফাইল পরিমাপ এবং জৈবিক কোষের পরিমাণগত ফেজ ইমেজিংয়ের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে।
ঠিকানা
নং 578 ইংকাউ রোড, ইয়াংপু জেলা, সাংহাই, চীন
টেলিফোন
ই-মেইল